金属板、金属板の製造方法、マスクの製造方法およびマスク装置の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20220047393
申请日
2022-03-23
公开(公告)号
JP2022089842A
公开(公告)日
2022-06-16
发明(设计)人
IKENAGA CHIKAO
申请人
DAINIPPON PRINTING CO LTD
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/04
IPC分类号
C21D1/30 H01L51/50 H05B33/10
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
金属板、金属板の製造方法、マスク、マスク装置及びマスクの製造方法[ja] [P]. 
HATSUDA CHIAKI ;
INOUE ISAO ;
NAKAMURA YOKO ;
MIYATANI ISAO ;
YANO HIROSHI .
日本专利 :JP2024154363A ,2024-10-30
[3]
金属板の製造方法およびマスクの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7269556B2 ,2023-05-09