磁気記録媒体用スパッタリングターゲット及び磁性薄膜[ja]

被引:0
申请号
JP20170567976
申请日
2017-01-04
公开(公告)号
JPWO2017141557A1
公开(公告)日
2018-10-18
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
C22C19/07 C22C32/00 C23C14/14 G11B5/64 G11B5/851 H01F10/16 H01F41/18
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[5]
磁気記録媒体用スパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020027235A1 ,2021-08-12
[6]
磁気記録媒体用スパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018083951A1 ,2019-10-17
[7]
[9]
磁気記録膜用スパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013190943A1 ,2016-05-26
[10]
磁気記録膜用スパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012133166A1 ,2014-07-28