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磁気記録媒体用スパッタリングターゲット及び磁性薄膜[ja]
被引：0
申请号：
JP20170567977
申请日：
2017-01-04
公开(公告)号：
JPWO2017141558A1
公开(公告)日：
2018-10-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C23C14/14
H01F10/14
H01F41/18
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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