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銅の洗浄及び保護配合物[ja]
被引:0
申请号
:
JP20150208297
申请日
:
2015-10-22
公开(公告)号
:
JP6133959B2
公开(公告)日
:
2017-05-24
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
C11D7/32
IPC分类号
:
C11D7/26
C11D7/34
C11D7/36
C11D7/50
C23F11/14
H01L21/304
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
銅の洗浄及び保護配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP5873718B2
,2016-03-01
[2]
洗浄配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP2024546237A
,2024-12-19
[3]
洗浄配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP6470239B2
,2019-02-13
[4]
水性洗浄配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP7274494B2
,2023-05-16
[5]
水性洗浄配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP2021517597A
,2021-07-26
[6]
CMP後洗浄のための配合物及び方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5749457B2
,2015-07-15
[7]
保護コーティング用の化合物及び配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP2024532457A
,2024-09-05
[8]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP6707451B2
,2020-06-10
[9]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP2016536392A
,2016-11-24
[10]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja]
[P].
日本专利
:JP2017502129A
,2017-01-19
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