銅の洗浄及び保護配合物[ja]

被引:0
申请号
JP20150208297
申请日
2015-10-22
公开(公告)号
JP6133959B2
公开(公告)日
2017-05-24
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C11D7/32
IPC分类号
C11D7/26 C11D7/34 C11D7/36 C11D7/50 C23F11/14 H01L21/304
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
銅の洗浄及び保護配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP5873718B2 ,2016-03-01
[2]
洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024546237A ,2024-12-19
[3]
洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6470239B2 ,2019-02-13
[4]
水性洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP7274494B2 ,2023-05-16
[5]
水性洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021517597A ,2021-07-26
[6]
CMP後洗浄のための配合物及び方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5749457B2 ,2015-07-15
[7]
保護コーティング用の化合物及び配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024532457A ,2024-09-05
[8]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6707451B2 ,2020-06-10
[9]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016536392A ,2016-11-24
[10]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2017502129A ,2017-01-19