表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja]

被引:0
申请号
JP20160539104
申请日
2014-12-09
公开(公告)号
JP2017502129A
公开(公告)日
2017-01-19
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C11D7/08
IPC分类号
C11D7/10 C11D7/26 C11D7/28 C11D7/32 C23G1/06 H01L21/304
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6707451B2 ,2020-06-10
[2]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016536392A ,2016-11-24
[3]
表面の残留物を除去するための洗浄配合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6599322B2 ,2019-10-30
[4]
加熱室の残留物を除去するための装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5665871B2 ,2015-02-04
[5]
[6]
[8]
残留物除去[ja] [P]. 
日本专利 :JP7299250B2 ,2023-06-27
[9]
残留物除去[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021527959A ,2021-10-14
[10]