共 50 条
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エッチング後残留物を除去するための洗浄組成物[ja]
被引：0
申请号：
JP20190527392
申请日：
2017-11-21
公开(公告)号：
JP2020513440A
公开(公告)日：
2020-05-14
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C11D7/32
IPC分类号：
B08B3/08
C11D1/75
C11D3/06
C11D3/20
C11D3/26
C11D3/28
C11D3/36
C11D7/16
C11D7/26
C11D7/36
C23G1/18
C23G1/20
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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