共 50 条
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半導体基板からエッチング後または灰化後の残留物を除去するための洗浄剤組成物、およびそれに対応する製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200531513
申请日：
2018-12-05
公开(公告)号：
JP7330972B2
公开(公告)日：
2023-08-22
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
C11D7/26
C11D7/28
C11D7/32
C11D7/34
C11D7/36
H01L21/308
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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