共 50 条
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残留物除去[ja]
被引：0
申请号：
JP20200570429
申请日：
2019-05-03
公开(公告)号：
JP7299250B2
公开(公告)日：
2023-06-27
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
C23C16/04
C23C16/56
C23F1/12
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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