トリアゼニド配位子を有する金属錯体及び気相から金属を堆積させるためのその使用[ja]

被引:0
申请号
JP20200532735
申请日
2018-12-12
公开(公告)号
JP2021507102A
公开(公告)日
2021-02-22
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/18
IPC分类号
C07C245/24 C07F1/08 C07F1/10 C07F1/12 C07F3/00 C07F3/04 C07F3/10 C07F5/00 C07F5/06 C07F7/00 C07F7/02 C07F9/90 C07F9/94 C07F15/00 C07F15/06
代理机构
代理人
法律状态
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