共 50 条
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エッチングチャンバーをコーティングする為の粉末[ja]
被引：0
申请号：
JP20200541436
申请日：
2019-01-31
公开(公告)号：
JP2021513001A
公开(公告)日：
2021-05-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C4/11
IPC分类号：
C01G27/02
C04B41/87
C23C4/10
C23C4/134
H01L21/3065
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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