共 50 条
[41]
[42]
[43]
[44]
[45]
[46]
[47]
[48]
[49]
[50]
ペリクル支持手段及びこれを用いたペリクル支持装置とペリクル装着方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20150100677
申请日：
2015-05-18
公开(公告)号：
JP6376601B2
公开(公告)日：
2018-08-22
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F1/62
IPC分类号：
B65D85/38
G03F1/66
H01L21/673
H01L21/683
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |