透明導電性酸化物膜付き基体とその製造方法、および光電変換素子[ja]

被引:0
申请号
JP20030539056
申请日
2002-10-17
公开(公告)号
JPWO2003036657A1
公开(公告)日
2005-02-17
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01B5/14
IPC分类号
C23C16/40 H01B13/00 H01L31/0224 H01L31/0236 H01L31/04 H01L31/18
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[2]
[3]
透明導電性酸化物膜付き基体の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012176899A1 ,2015-02-23
[5]
光電変換素子およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6005785B1 ,2016-10-12
[6]
[7]
導電性酸化物およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5857775B2 ,2016-02-10
[8]
導電性酸化物およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5811877B2 ,2015-11-11
[10]
透明導電膜および透明導電膜の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2009031399A1 ,2010-12-09