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透明導電性酸化物膜付き基体の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20130521642
申请日：
2012-06-22
公开(公告)号：
JPWO2012176899A1
公开(公告)日：
2015-02-23
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L31/04
IPC分类号：
C23C16/54
H01B13/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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