複合集束イオンビーム装置及びそれを用いた加工観察方法、加工方法[ja]

被引:0
申请号
JP20090526476
申请日
2008-08-06
公开(公告)号
JPWO2009020151A1
公开(公告)日
2010-11-04
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01J37/317
IPC分类号
H01J27/02 H01J37/04 H01J37/08 H01J37/244
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
引用
下载
收藏
共 9 条
[2]
液体金属イオン源及び集束イオンビーム装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7479810B2 ,2024-05-09
[3]
TIMフィルム及びこれを用いて製造された半導体パッケージ[ja] [P]. 
PARK MIHYAE ;
LEE CHIWOO .
日本专利 :JP2024028128A ,2024-03-01
[7]
プラズマ支援を用いた液体金属ジェット印刷のためのシステム及び方法[ja] [P]. 
DANIEL BULLARD ;
MAEDA PATRICK Y ;
WARREN JACKSON ;
BIEGELSEN DAVID K .
日本专利 :JP2024082247A ,2024-06-19