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プラズマ発生装置、プラズマスパッタリング装置及びプラズマスパッタリング方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20180565548
申请日：
2018-01-30
公开(公告)号：
JPWO2018143164A1
公开(公告)日：
2019-11-21
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/35
IPC分类号：
H05H1/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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