共 50 条
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プラズマエッチング方法、及びプラズマエッチング装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20120531791
申请日：
2011-08-18
公开(公告)号：
JPWO2012029554A1
公开(公告)日：
2013-10-28
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
H05H1/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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