表面処理組成物及びその製造方法、表面処理方法、並びに半導体基板の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20190504361
申请日
2018-01-19
公开(公告)号
JPWO2018163617A1
公开(公告)日
2019-12-26
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C11D1/22
IPC分类号
C09K3/00 C11D1/12 C11D1/14 C11D1/28 C11D1/29 C11D1/34 C11D3/36 C11D3/37 H01L21/304
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[2]
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KAYANO MICHIAKI ;
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YAMADA SHIMPEI ;
KAMIMURA TETSUYA ;
MIZUTANI ATSUSHI ;
SHIGENOI YUTA .
日本专利 :JP2024018964A ,2024-02-08