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セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液[ja]
被引：0
申请号：
JP20170209562
申请日：
2017-10-30
公开(公告)号：
JP7020865B2
公开(公告)日：
2022-02-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B24B37/00
IPC分类号：
C01B33/12
C01B33/18
C01F17/235
C09G1/02
C09K3/14
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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