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セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液[ja]
被引：0
申请号：
JP20190522160
申请日：
2018-05-23
公开(公告)号：
JPWO2018221357A1
公开(公告)日：
2020-04-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01B33/12
IPC分类号：
B24B37/00
C01B33/145
C01F17/229
C01F17/235
C09G1/02
C09K3/14
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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