共 50 条
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Ｔｉ膜およびＴｉＮ膜の成膜方法およびコンタクト構造、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンピュータプログラム[ja]
被引：0
申请号：
JP20060512135
申请日：
2005-04-08
公开(公告)号：
JPWO2005098913A1
公开(公告)日：
2008-03-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/285
IPC分类号：
C23C16/02
C23C16/14
C23C16/34
H01L21/02
H01L21/28
H01L21/3205
H01L21/768
H01L23/52
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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