二酸化珪素膜およびその形成方法、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体並びにプラズマＣＶＤ装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20100531936

申请日：

2009-09-29

公开(公告)号：

JPWO2010038887A1

公开(公告)日：

2012-03-01

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C16/42

IPC分类号：

H01L21/316 C23C16/511 H01L21/31 H10B69/00

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

Ｔｉ膜およびＴｉＮ膜の成膜方法およびコンタクト構造、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンピュータプログラム[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005098913A1 ,2008-03-06

[2]

制御方法、装置、調理器具及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体[ja] [P].

日本专利 :JP2023500108A ,2023-01-04

[3]

ルテニウム膜の成膜方法およびコンピュータ読取可能な記憶媒体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007102333A1 ,2009-07-23

[4]

多孔質膜の成膜方法およびコンピュータ可読記録媒体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007080944A1 ,2009-06-11

[5]

プラズマ焼成装置及びプラズマ焼成方法並びに導電性パターンの形成方法[ja] [P].

TAKAGISHI KENSUKE ;

BAI LU ;

HITOMI YASUFUMI .

日本专利 :JP2025040578A ,2025-03-25

[6]

ケイ素含有ポリマーおよびその合成方法、膜形成用組成物、ならびにシリカ系膜およびその形成方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008096656A1 ,2010-05-20

[7]

回折データの解析方法、コンピュータプログラム及び記録媒体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016017770A1 ,2017-07-06

[8]

脂肪性肝疾患を診断するためのバイオマーカー、その測定方法、コンピュータプログラム、および、記憶媒体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012049874A1 ,2014-02-24

[9]

耐プラズマ性コーティング膜の製造方法及びこれにより形成された耐プラズマ性部材[ja] [P].

日本专利 :JP2021500480A ,2021-01-07

[10]

うつ病のバイオマーカー、うつ病のバイオマーカーの測定法、コンピュータプログラム、及び記憶媒体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011019072A1 ,2013-01-17

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