エキシマランプおよび光照射装置[ja]

被引:0
申请号
JP20170075731
申请日
2017-04-06
公开(公告)号
JP6915352B2
公开(公告)日
2021-08-04
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01J65/00
IPC分类号
H01J61/33 H01J61/35 H01J61/36 H01J61/52
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
エキシマランプおよびエキシマ光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5633354B2 ,2014-12-03
[2]
エキシマランプ、光照射装置[ja] [P]. 
FUJITA NAOKI ;
KASAGI KUNIO ;
HORIBE DAIKI ;
TAKEZOE NORITAKA .
日本专利 :JP2025025420A ,2025-02-21
[3]
エキシマランプ、光照射装置[ja] [P]. 
FUJITA NAOKI ;
KASAGI KUNIO ;
HORIBE DAIKI ;
TAKEZOE NORITAKA .
日本专利 :JP2025025407A ,2025-02-21
[4]
エキシマランプ、光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7384090B2 ,2023-11-21
[5]
エキシマランプ、光照射装置[ja] [P]. 
FUJITA NAOKI ;
KASAGI KUNIO ;
HORIBE DAIKI ;
TAKEZOE NORITAKA .
日本专利 :JP2025025403A ,2025-02-21
[6]
エキシマランプ装置および光照射処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6229404B2 ,2017-11-15
[7]
エキシマランプ及び光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6948606B1 ,2021-10-13
[9]
エキシマ光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7281083B2 ,2023-05-25
[10]
エキシマ光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6086227B2 ,2017-03-01