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エキシマランプおよびエキシマ光照射装置[ja]

被引：0
申请号：
JP20100276834
申请日：
2010-12-13
公开(公告)号：
JP5633354B2
公开(公告)日：
2014-12-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J65/00
IPC分类号：
B08B7/00 H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
エキシマランプおよび光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6915352B2 ,2021-08-04
[2]
エキシマランプ、光照射装置[ja] [P]. 
FUJITA NAOKI ;
KASAGI KUNIO ;
HORIBE DAIKI ;
TAKEZOE NORITAKA .
日本专利 :JP2025025407A ,2025-02-21
[3]
エキシマランプ、光照射装置[ja] [P]. 
FUJITA NAOKI ;
KASAGI KUNIO ;
HORIBE DAIKI ;
TAKEZOE NORITAKA .
日本专利 :JP2025025420A ,2025-02-21
[4]
エキシマランプ、光照射装置[ja] [P]. 
FUJITA NAOKI ;
KASAGI KUNIO ;
HORIBE DAIKI ;
TAKEZOE NORITAKA .
日本专利 :JP2025025403A ,2025-02-21
[5]
エキシマランプ、光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7384090B2 ,2023-11-21
[6]
エキシマランプ及び光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6948606B1 ,2021-10-13
[7]
エキシマ光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6086227B2 ,2017-03-01
[8]
エキシマ光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5928527B2 ,2016-06-01
[9]
エキシマ光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7281083B2 ,2023-05-25
[10]
エキシマ光照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5861987B2 ,2016-02-16
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