成膜装置、マスクフレーム、アライメント方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20180553171

申请日：

2018-06-05

公开(公告)号：

JPWO2019003827A1

公开(公告)日：

2019-06-27

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C14/54

IPC分类号：

H01L51/50 H05B33/10

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法律状态信息

共 50 条

[1]

成膜装置、マスクフレーム、アライメント方法[ja] [P].

日本专利 :JP6722298B2 ,2020-07-15

[2]

マスクアライメント方法、成膜方法、マスクアライメント装置、及び成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP7450493B2 ,2024-03-15

[3]

アライメント装置、アライメント方法、成膜方法、マスク及び成膜装置[ja] [P].

ICHIHARA MASAHIRO ;

NAGAOKA TAKESHI .

日本专利 :JP2024159137A ,2024-11-08

[4]

アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、及び成膜方法[ja] [P].

AGAWA TEPPEI ;

SHIMOMURA YOSHIJI ;

EZAWA MITSUHARU ;

SUZUKI KENTARO .

日本专利 :JP2025023499A ,2025-02-17

[5]

アライメント装置、アライメント方法、成膜装置及び成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7449215B2 ,2024-03-13

[6]

アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、及び成膜方法[ja] [P].

OTSU TAKESHI .

日本专利 :JP2025018139A ,2025-02-06

[7]

アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、および成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7217730B2 ,2023-02-03

[8]

アライメント装置、アライメント方法、及び成膜装置[ja] [P].

NAGAOKA TAKESHI .

日本专利 :JP2024158900A ,2024-11-08

[9]

アライメント装置、成膜装置及びアライメント方法[ja] [P].

KANDA HIROSHI .

日本专利 :JP2024004563A ,2024-01-17

[10]

アライメント機構、アライメント方法、成膜装置及び成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7191229B2 ,2022-12-16

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