学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

マスクアライメント方法、成膜方法、マスクアライメント装置、及び成膜装置[ja]

被引：0
申请号：
JP20200132998
申请日：
2020-08-05
公开(公告)号：
JP7450493B2
公开(公告)日：
2024-03-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/04
IPC分类号：
H10K99/00 H05B33/10 H10K50/10
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
アライメント装置、アライメント方法、成膜方法、マスク及び成膜装置[ja] [P]. 
ICHIHARA MASAHIRO ;
NAGAOKA TAKESHI .
日本专利 :JP2024159137A ,2024-11-08
[2]
アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、及び成膜方法[ja] [P]. 
AGAWA TEPPEI ;
SHIMOMURA YOSHIJI ;
EZAWA MITSUHARU ;
SUZUKI KENTARO .
日本专利 :JP2025023499A ,2025-02-17
[3]
アライメント装置、アライメント方法、成膜装置及び成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7449215B2 ,2024-03-13
[4]
アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、及び成膜方法[ja] [P]. 
OTSU TAKESHI .
日本专利 :JP2025018139A ,2025-02-06
[5]
アライメント装置、アライメント方法、及び成膜装置[ja] [P]. 
NAGAOKA TAKESHI .
日本专利 :JP2024158900A ,2024-11-08
[6]
アライメント装置、成膜装置及びアライメント方法[ja] [P]. 
KANDA HIROSHI .
日本专利 :JP2024004563A ,2024-01-17
[7]
アライメント機構、アライメント方法、成膜装置及び成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7191229B2 ,2022-12-16
[8]
アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、および成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7217730B2 ,2023-02-03
[9]
成膜装置、マスクフレーム、アライメント方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019003827A1 ,2019-06-27
[10]
成膜装置、マスクフレーム、アライメント方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6722298B2 ,2020-07-15
12345