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光学装置における光線の強度を調整するための方法、および対応する光学装置[ja]
被引:0
申请号
:
JP20170110093
申请日
:
2017-06-02
公开(公告)号
:
JP7090406B2
公开(公告)日
:
2022-06-24
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
G02B21/06
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
光学装置を調整するためのシステムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2023533300A
,2023-08-02
[2]
光学装置を調整するためのシステムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7504282B2
,2024-06-21
[3]
水中試験における線虫およびその他の生物に対する有効成分の活性を測定する装置および方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2018503097A
,2018-02-01
[4]
特にEUV放射線を反射するための光学素子、光学装置、及び光学素子を製造する方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2023547253A
,2023-11-09
[5]
特にEUV放射線を反射するための光学素子、光学装置、及び光学素子を製造する方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7733731B2
,2025-09-03
[6]
光線を伝送および制御するための装置および方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2022502124A
,2022-01-11
[7]
複製による光学素子の製造および対応する複製ツール並びに光学装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6732735B2
,2020-07-29
[8]
複製による光学素子の製造および対応する複製ツール並びに光学装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2017516162A
,2017-06-15
[9]
材料の光学特性を測定するための光学装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2022509387A
,2022-01-20
[10]
保持装置、光学装置、および光学装置を製造する方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6993861B2
,2022-01-14
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