共 50 条
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特にＥＵＶ放射線を反射するための光学素子、光学装置、及び光学素子を製造する方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230526422
申请日：
2021-10-05
公开(公告)号：
JP7733731B2
公开(公告)日：
2025-09-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
G02B5/08
G02B5/18
G02B5/26
G02B5/28
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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