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ゲート酸化物の漏れを抑えたリプレースメントゲートトランジスタ[ja]
被引：0
申请号：
JP20130013696
申请日：
2013-01-28
公开(公告)号：
JP6076755B2
公开(公告)日：
2017-02-08
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/336
IPC分类号：
H01L21/28
H01L29/423
H01L29/49
H01L29/78
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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