高純度酸化亜鉛粉末及びその製造方法並びに高純度酸化亜鉛ターゲット及び高純度酸化亜鉛薄膜[ja]

被引:0
申请号
JP20050514377
申请日
2004-09-08
公开(公告)号
JPWO2005033355A1
公开(公告)日
2007-11-15
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
C01G9/00 C01G9/02 C01G9/04 C04B35/00 C04B35/453 C23C14/08
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[1]
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[10]
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