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複合酸化物焼結体、ターゲット、酸化物透明導電膜及びその製法[ja]
被引：0
申请号：
JP20110279975
申请日：
2011-12-21
公开(公告)号：
JP5942414B2
公开(公告)日：
2016-06-29
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C04B35/00
IPC分类号：
C23C14/34
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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