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欠陥サイズ分布の測定方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20170181147
申请日
:
2017-09-21
公开(公告)号
:
JP6729526B2
公开(公告)日
:
2020-07-22
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
G01B11/08
IPC分类号
:
G01N21/956
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
欠陥測定装置及び欠陥測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7095270B2
,2022-07-05
[2]
サイズ測定装置及びサイズ測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2014157340A1
,2017-02-16
[3]
サイズ測定装置及びサイズ測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6132275B2
,2017-05-24
[4]
サイズ測定装置及びサイズ測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7315920B2
,2023-07-27
[5]
サイズ測定装置及びサイズ測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2014006832A1
,2016-06-02
[6]
サイズ測定装置及びサイズ測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6048575B2
,2016-12-21
[7]
耐食膜の欠陥率の測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2022110360A
,2022-07-29
[8]
テラス幅の測定方法、欠陥測定方法及び測定装置[ja]
[P].
日本专利
:JP7610896B1
,2025-01-09
[9]
欠陥測定方法、欠陥測定装置、および検査プローブ[ja]
[P].
日本专利
:JP6579840B2
,2019-09-25
[10]
欠陥測定装置、欠陥測定方法および検査プローブ[ja]
[P].
日本专利
:JP6978913B2
,2021-12-08
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