共 50 条
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欠陥測定装置及び欠陥測定方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170236802
申请日：
2017-12-11
公开(公告)号：
JP7095270B2
公开(公告)日：
2022-07-05
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G01B11/16
IPC分类号：
G01B11/30
G01H9/00
G01N21/88
G01N21/89
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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