一种高精度位移台及纳米压印装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420073527.6

申请日：

2024-01-11

公开(公告)号：

CN221529056U

公开(公告)日：

2024-08-13

发明(设计)人：

娄飞

申请人：

深圳市雕拓科技有限公司

申请人地址：

518100 广东省深圳市宝安区西乡街道蚝业社区金港大厦金港中心B座1807

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

G03F7/20 G03F9/00

代理机构：

深圳汉世知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44578

代理人：

田志立

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高精度位移台及纳米压印装置 [P].

娄飞 .

中国专利 :CN117687266A ,2024-03-12

[2]

一种高精度纳米位移台 [P].

夏勇 ;

樊海彪 .

中国专利 :CN206832273U ,2018-01-02

[3]

一种高精度纳米压印光刻设备 [P].

蔡胜 ;

关成刚 ;

黄豆 .

中国专利 :CN216248761U ,2022-04-08

[4]

一种高精度电动位移台 [P].

茅爱峰 ;

岳军齐 ;

黄树 .

中国专利 :CN217159521U ,2022-08-09

[5]

一种纳米压印母版的高精度测量方法 [P].

曲迪 ;

宋学颖 ;

王磊 ;

王俊 ;

陈景春 .

中国专利 :CN118859647B ,2025-02-14

[6]

一种纳米压印母版的高精度测量方法 [P].

曲迪 ;

宋学颖 ;

王磊 ;

王俊 ;

陈景春 .

中国专利 :CN118859647A ,2024-10-29

[7]

一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置 [P].

王英涛 ;

姚继开 .

中国专利 :CN106773531B ,2017-05-31

[8]

一种纳米压印装置 [P].

娄飞 .

中国专利 :CN220709539U ,2024-04-02

[9]

一种基于纳米压印技术的高精度芯片制造方法 [P].

于博瀛 .

中国专利 :CN120762247A ,2025-10-10

[10]

一种高精度宏微结合运动位移台 [P].

吴波 .

中国专利 :CN217178227U ,2022-08-12

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