一种纳米压印母版的高精度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411282403.X

申请日：

2024-09-13

公开(公告)号：

CN118859647B

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

曲迪宋学颖王磊王俊陈景春

申请人：

天津华慧芯科技集团有限公司

申请人地址：

300467 天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/00 G01Q60/38 G01B21/18

代理机构：

天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101

代理人：

李凤

法律状态：

授权

国省代码：

广西壮族自治区柳州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	授权	授权
2024-10-29	公开	公开
2024-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240913

共 50 条

[1]

一种纳米压印母版的高精度测量方法 [P].

曲迪 ;

宋学颖 ;

王磊 ;

王俊 ;

陈景春 .

中国专利 :CN118859647A ,2024-10-29

[2]

一种基于纳米压印技术的光波导形貌测量方法 [P].

陈莲薏 ;

王晖 ;

汤黎伟 ;

李良波 .

中国专利 :CN120991766A ,2025-11-21

[3]

一种微小冲量的高精度测量方法 [P].

张锐 .

中国专利 :CN118225293A ,2024-06-21

[4]

一种微小冲量的高精度测量方法 [P].

张锐 .

中国专利 :CN118225293B ,2024-11-05

[5]

一种基于纳米压印技术的高精度芯片制造方法 [P].

于博瀛 .

中国专利 :CN120762247A ,2025-10-10

[6]

一种纳米压印母版的制备方法 [P].

王百钱 ;

杨荣 ;

余明斌 .

中国专利 :CN117092881B ,2024-06-21

[7]

一种高精度位移台及纳米压印装置 [P].

娄飞 .

中国专利 :CN221529056U ,2024-08-13

[8]

一种高精度位移台及纳米压印装置 [P].

娄飞 .

中国专利 :CN117687266A ,2024-03-12

[9]

盾构初始状态的高精度测量方法 [P].

王建林 ;

胡新朋 ;

秦小鹏 ;

齐保伟 ;

陈文明 ;

刘创 ;

马腾 ;

徐永强 ;

马成龙 ;

朱照光 ;

冯凯 ;

林青桥 ;

陈振尧 ;

张仕勇 ;

袁前林 ;

吴红兵 .

中国专利 :CN111521139B ,2020-08-11

[10]

一种烟气高精度测量方法 [P].

牟巍 .

中国专利 :CN118914114A ,2024-11-08

← 1 2 3 4 5 →