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电场传感器封装组件及其批量化制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810694787.4
申请日：
2018-06-28
公开(公告)号：
CN108508283B
公开(公告)日：
2024-06-14
发明(设计)人：
夏善红 闻小龙 彭春荣 杨鹏飞 刘宇涛
申请人：
中国科学院电子学研究所 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
申请人地址：
100190 北京市海淀区北四环西路19号
IPC主分类号：
G01R29/12
IPC分类号：
G01R3/00
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
鄢功军
法律状态：
授权
国省代码：
北京市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-06-14 授权 授权
2024-10-11 专利权期限的补偿 专利权期限补偿IPC(主分类):G01R 29/12申请日:20180628授权公告日:20240614原专利权期满终止日:20380628现专利权期满终止日:20400614
共 50 条
[1]
电场传感器封装组件及其批量化制造方法 [P]. 
夏善红 ;
闻小龙 ;
彭春荣 ;
杨鹏飞 ;
刘宇涛 .
中国专利 :CN108508283A ,2018-09-07
[2]
电场传感器封装组件 [P]. 
夏善红 ;
闻小龙 ;
彭春荣 ;
杨鹏飞 ;
刘宇涛 .
中国专利 :CN208443926U ,2019-01-29
[3]
MEMS电场传感器的批量封装方法及封装设备 [P]. 
闻小龙 ;
万振波 ;
张亦弛 ;
闫伟峰 ;
李泽昊 ;
王宙玺 ;
肖江华 ;
吴双 .
中国专利 :CN120793836A ,2025-10-17
[4]
电场传感器的真空封装方法及电场传感器 [P]. 
闻小龙 ;
张亦弛 ;
万振波 ;
闫伟峰 ;
李泽昊 ;
王宙玺 ;
肖江华 ;
吴双 .
中国专利 :CN120610044A ,2025-09-09
[5]
一种电场传感器的封装组件、封装方法及电场传感器 [P]. 
任仁 ;
彭春荣 ;
凌必赟 ;
夏善红 ;
郑凤杰 ;
吕曜 .
中国专利 :CN109752604B ,2019-05-14
[6]
一种电场传感器封装组件 [P]. 
闵毅 .
中国专利 :CN215525961U ,2022-01-14
[7]
MEMS电场传感器、封装方法及封装设备 [P]. 
闻小龙 ;
万振波 ;
张亦弛 ;
闫伟峰 ;
李泽昊 ;
王宙玺 ;
肖江华 ;
吴双 .
中国专利 :CN120741964A ,2025-10-03
[8]
压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器 [P]. 
彭春荣 ;
李嘉晨 ;
郑凤杰 ;
毋正伟 ;
任仁 ;
吕曜 .
中国专利 :CN113092885A ,2021-07-09
[9]
电场传感器组件及电场检测方法 [P]. 
杨鹏飞 ;
储昭志 ;
闻小龙 ;
吴双 .
中国专利 :CN119510910B ,2025-08-12
[10]
电场传感器组件及电场检测方法 [P]. 
杨鹏飞 ;
储昭志 ;
闻小龙 ;
吴双 .
中国专利 :CN119510910A ,2025-02-25
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