供气系统和外延工艺设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323455994.X

申请日：

2023-12-18

公开(公告)号：

CN221480161U

公开(公告)日：

2024-08-06

发明(设计)人：

傅林坚刘毅吴正闪周建灿曹建伟朱亮

申请人：

浙江求是半导体设备有限公司

申请人地址：

311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室

IPC主分类号：

C30B25/14

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

田宁

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

外延工艺设备 [P].

崔宇 .

中国专利 :CN218478823U ,2023-02-14

[2]

传片系统和外延工艺设备 [P].

傅林坚 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

刘毅 ;

周建灿 ;

曹辰熙 .

中国专利 :CN221566369U ,2024-08-20

[3]

载台系统和外延工艺设备 [P].

余峰 ;

安志强 .

中国专利 :CN217997405U ,2022-12-09

[4]

风冷设备和外延工艺设备 [P].

刘晓亮 ;

王伟 .

中国专利 :CN223280973U ,2025-08-29

[5]

尾气导出装置和外延工艺设备 [P].

曹建伟 ;

傅林坚 ;

朱亮 ;

刘毅 ;

吴正闪 .

中国专利 :CN221566370U ,2024-08-20

[6]

加热装置和外延工艺设备 [P].

曹建伟 ;

刘毅 ;

傅林坚 ;

朱亮 ;

梁旭 ;

冯欣凯 .

中国专利 :CN117660917A ,2024-03-08

[7]

分流进气装置和外延工艺设备 [P].

傅林坚 ;

周建灿 ;

吴正闪 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 .

中国专利 :CN222119473U ,2024-12-06

[8]

一种外延工艺设备用安全保护泄压系统及外延工艺设备 [P].

刘欣 ;

唐卓睿 ;

毛朝斌 ;

赵海英 .

中国专利 :CN114060723A ,2022-02-18

[9]

半导体工艺设备及其集成供气系统 [P].

马培原 ;

宋志辉 ;

杨宗林 .

中国专利 :CN215451345U ,2022-01-07

[10]

半导体工艺设备及其集成供气系统 [P].

郑波 ;

魏景峰 ;

杨宗林 ;

苏乾益 ;

宋志辉 .

中国专利 :CN111945136A ,2020-11-17

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