载台系统和外延工艺设备

被引：0

申请号：

CN202222295619.2

申请日：

2022-08-30

公开(公告)号：

CN217997405U

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

余峰安志强

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C30B2302

IPC分类号：

C30B2904 C23C1450 C23C1406

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315

代理人：

束智伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	授权	授权

共 50 条

[1]

供气系统和外延工艺设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

吴正闪 ;

周建灿 ;

曹建伟 ;

朱亮 .

中国专利 :CN221480161U ,2024-08-06

[2]

外延工艺设备 [P].

崔宇 .

中国专利 :CN218478823U ,2023-02-14

[3]

传片系统和外延工艺设备 [P].

傅林坚 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

刘毅 ;

周建灿 ;

曹辰熙 .

中国专利 :CN221566369U ,2024-08-20

[4]

风冷设备和外延工艺设备 [P].

刘晓亮 ;

王伟 .

中国专利 :CN223280973U ,2025-08-29

[5]

加热装置和外延工艺设备 [P].

曹建伟 ;

刘毅 ;

傅林坚 ;

朱亮 ;

梁旭 ;

冯欣凯 .

中国专利 :CN117660917A ,2024-03-08

[6]

尾气导出装置和外延工艺设备 [P].

曹建伟 ;

傅林坚 ;

朱亮 ;

刘毅 ;

吴正闪 .

中国专利 :CN221566370U ,2024-08-20

[7]

一种外延工艺设备用安全保护泄压系统及外延工艺设备 [P].

刘欣 ;

唐卓睿 ;

毛朝斌 ;

赵海英 .

中国专利 :CN114060723A ,2022-02-18

[8]

分流进气装置和外延工艺设备 [P].

傅林坚 ;

周建灿 ;

吴正闪 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 .

中国专利 :CN222119473U ,2024-12-06

[9]

基座承载机构和半导体工艺设备 [P].

李嘉保 ;

仲光宇 ;

王曦冉 ;

阮琰 .

中国专利 :CN221398165U ,2024-07-23

[10]

一种石英晶体监测结构及外延工艺设备 [P].

杨佳 ;

赵南 .

中国专利 :CN121110178A ,2025-12-12

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