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基座承载机构和半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322664749.3
申请日：
2023-09-28
公开(公告)号：
CN221398165U
公开(公告)日：
2024-07-23
发明(设计)人：
李嘉保
仲光宇
王曦冉
阮琰
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
C30B25/12
IPC分类号：
C30B25/16
C23C16/458
C23C16/52
H01L21/673
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
束智伟
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-23 | 授权 | 授权 |