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一种抛光垫修整装置、最终抛设备及修整方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410989210.1
申请日：
2024-07-23
公开(公告)号：
CN118528176B
公开(公告)日：
2024-10-08
发明(设计)人：
朱亮 李阳健 郑猛 黄金涛
申请人：
浙江求是半导体设备有限公司 浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址：
311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室
IPC主分类号：
B24B53/017
IPC分类号：
B24B55/12
代理机构：
杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329
代理人：
许红平
法律状态：
公开
国省代码：
浙江省 绍兴市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-08-23 公开 公开
2024-10-08 授权 授权
2024-09-10 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 53/017申请日:20240723
共 50 条
[1]
一种抛光垫修整装置、最终抛设备及修整方法 [P]. 
朱亮 ;
李阳健 ;
郑猛 ;
黄金涛 .
中国专利 :CN118528176A ,2024-08-23
[2]
抛光垫修整装置及修整方法 [P]. 
魏昕 ;
熊伟 ;
袁慧 ;
胡伟 .
中国专利 :CN1792553B ,2006-06-28
[3]
抛光垫修整装置 [P]. 
魏昕 ;
熊伟 ;
袁慧 ;
胡伟 .
中国专利 :CN2868553Y ,2007-02-14
[4]
抛光垫修整装置和抛光垫修整方法 [P]. 
王浩 .
中国专利 :CN117718887A ,2024-03-19
[5]
抛光垫修整装置和抛光垫修整方法 [P]. 
郑凯铭 .
中国专利 :CN111775044A ,2020-10-16
[6]
一种抛光垫的修整轮及修整装置 [P]. 
赵晟佑 .
中国专利 :CN111318965A ,2020-06-23
[7]
抛光垫的修整方法、修整装置、抛光垫及双面抛光装置 [P]. 
白宗权 ;
具成旻 ;
崔世勋 ;
李昀泽 .
中国专利 :CN109551360B ,2019-04-02
[8]
一种抛光垫的修整装置及修整方法 [P]. 
赵晟佑 .
中国专利 :CN110625528B ,2019-12-31
[9]
抛光垫修整装置 [P]. 
袁巨龙 ;
陶黎 ;
邓乾发 ;
陈锋 ;
杨翊 ;
方海生 ;
王志伟 ;
吕冰海 .
中国专利 :CN201115932Y ,2008-09-17
[10]
抛光垫修整装置 [P]. 
袁巨龙 ;
陶黎 ;
邓乾发 ;
陈锋 ;
杨翊 ;
方海生 ;
王志伟 ;
吕冰海 .
中国专利 :CN100546770C ,2008-04-30
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