晶圆凸块电镀液超声波混匀电镀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323180788.2

申请日：

2023-11-24

公开(公告)号：

CN221320129U

公开(公告)日：

2024-07-12

发明(设计)人：

凌永康张勇杜良辉章剑

申请人：

江苏晶度半导体科技有限公司

申请人地址：

212400 江苏省镇江市句容市开发区崇明西路102号8号楼

IPC主分类号：

C25D17/00

IPC分类号：

C25D7/12 C25D5/20 C25D21/12

代理机构：

北京卓岚智财知识产权代理有限公司 11624

代理人：

时修丽

法律状态：

授权

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-12	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置 [P].

王振荣 ;

刘红兵 ;

朱雄 ;

鲁珊 .

中国专利 :CN211394678U ,2020-09-01

[2]

超声波振动电镀装置 [P].

叶夕枫 .

中国专利 :CN202610367U ,2012-12-19

[3]

超声波电镀装置 [P].

刘典德 ;

吴汝聪 .

中国专利 :CN2441817Y ,2001-08-08

[4]

一种超声波电镀装置 [P].

江南豫 ;

卢振明 ;

魏铼 ;

刘帆 ;

鲁圣力 ;

胡晖 .

中国专利 :CN222729931U ,2025-04-08

[5]

一种超声波电镀装置 [P].

刘建华 .

中国专利 :CN208701227U ,2019-04-05

[6]

晶圆电镀设备 [P].

王振荣 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN213086155U ,2021-04-30

[7]

晶圆电镀设备 [P].

刘博佳 ;

王海宽 ;

郭松辉 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210215592U ,2020-03-31

[8]

超声波调色混匀装置 [P].

迟克民 ;

杨志军 .

中国专利 :CN207875246U ,2018-09-18

[9]

可过滤电镀液槽及晶圆电镀设备 [P].

王振荣 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN213086164U ,2021-04-30

[10]

一种超声波振动电镀装置 [P].

曹美莹 ;

赵若心 ;

康利宁 ;

叶荣光 .

中国专利 :CN213866455U ,2021-08-03

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