一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211711773.1

申请日：

2022-12-29

公开(公告)号：

CN118271970A

公开(公告)日：

2024-07-02

发明(设计)人：

郑闪闪李昀荆建芬马健杨俊雅李瑾琳周文婷周靖宇王曦刘天奇王苗苗王正

申请人：

安集微电子科技（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

C23F3/06 C23F3/04

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-02	公开	公开
2025-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20221229

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

李昀 ;

荆建芬 ;

马健 ;

宋凯 ;

姚颖 ;

杨俊雅 ;

李瑾琳 ;

周靖宇 ;

刘天奇 ;

汪国豪 ;

周文婷 .

中国专利 :CN118271969A ,2024-07-02

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

马健 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

潘依君 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN109971357A ,2019-07-05

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

杨俊雅 ;

张建 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

马健 ;

蔡鑫元 ;

李恒 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN109971353B ,2019-07-05

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

马健 ;

张建 ;

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

李恒 ;

潘依君 .

中国专利 :CN109972145A ,2019-07-05

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

黄悦锐 ;

姚颖 ;

荆建芬 ;

倪宇飞 ;

马健 ;

杨俊雅 ;

汪国豪 ;

李恒 ;

陆弘毅 .

中国专利 :CN113122144A ,2021-07-16

[6]

一种化学机械抛光液及其用途 [P].

周靖宇 ;

马健 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

杨俊雅 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

汪国豪 ;

邱欢 ;

王正 ;

杨征 .

中国专利 :CN118256157A ,2024-06-28

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

陈宝明 ;

宋凯 ;

邱腾飞 ;

张乐平 .

中国专利 :CN105273636A ,2016-01-27

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN102101982A ,2011-06-22

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

卞鹏程 ;

潘依君 ;

李恒 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

马健 .

中国专利 :CN109971354A ,2019-07-05

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118516045B ,2024-11-29

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