一种化学气相沉积炉废料回收装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323177270.3

申请日：

2023-11-24

公开(公告)号：

CN221440857U

公开(公告)日：

2024-07-30

发明(设计)人：

赵亚国李勇杜宗江屈谦光

申请人：

西安西炉特种电炉有限公司

申请人地址：

710000 陕西省西安市雁塔区西三环和科技路十字西北角绿地国际花都8幢1单元10层11007号

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

代理机构：

重庆徽赫天连知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 50303

代理人：

张军

法律状态：

授权

国省代码：

陕西省西安市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-30	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209039580U ,2019-06-28

[2]

化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN203393225U ,2014-01-15

[3]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209052765U ,2019-07-02

[4]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN207294881U ,2018-05-01

[5]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[6]

化学气相沉积炉及化学气相沉积装置 [P].

杨竣焜 .

中国专利 :CN120575152A ,2025-09-02

[7]

一种化学气相沉积炉 [P].

王利花 ;

张淑蓉 ;

李勇 .

中国专利 :CN202063992U ,2011-12-07

[8]

一种化学气相沉积炉 [P].

姚栋嘉 ;

张东生 ;

李江涛 ;

吴恒 ;

刘喜宗 ;

杨超 ;

张相国 .

中国专利 :CN213538095U ,2021-06-25

[9]

一种化学气相沉积炉 [P].

江南 ;

褚伍波 ;

张军安 ;

胡付生 ;

马洪兵 .

中国专利 :CN207891423U ,2018-09-21

[10]

一种化学气相沉积炉 [P].

孙矿 ;

徐炜 .

中国专利 :CN223304541U ,2025-09-05

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