Z向运动的纳米级精密定位平台

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322860458.1
申请日
2023-10-25
公开(公告)号
CN221281320U
公开(公告)日
2024-07-05
发明(设计)人
张佳新 隆志力 吴张良
申请人
深圳市汉诺精密科技有限公司
申请人地址
518100 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1303号鸿信工业园4号厂房101
IPC主分类号
G02B21/26
IPC分类号
G02B21/24 H02N2/00 H02N2/02 H02N2/04 G01N21/01 G01N21/84
代理机构
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
曾旻辉
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
多自由度的纳米级精密定位平台 [P]. 
张佳新 ;
隆志力 ;
吴张良 .
中国专利 :CN117348230A ,2024-01-05
[2]
多自由度的纳米级精密定位平台 [P]. 
张佳新 ;
隆志力 ;
吴张良 .
中国专利 :CN117348230B ,2024-10-29
[3]
直驱式纳米级精密定位平台 [P]. 
陈峰 ;
邓恩坤 .
中国专利 :CN202695554U ,2013-01-23
[4]
一种直驱式纳米级精密定位平台 [P]. 
文杰 ;
宫明远 ;
闫灿 .
中国专利 :CN211439675U ,2020-09-08
[5]
一种直驱式纳米级精密定位平台 [P]. 
伍鹏 ;
沈丽佳 ;
彭晋宇 ;
鲁继超 ;
伍明 ;
何世奇 ;
梁烔墙 ;
干甜 .
中国专利 :CN120539762A ,2025-08-26
[6]
一种运动解耦的XY向精密定位平台 [P]. 
张志胜 ;
郑建勇 ;
史金飞 ;
陈芳 ;
柳俊 .
中国专利 :CN201397813Y ,2010-02-03
[7]
一种运动解耦的XY向精密定位平台 [P]. 
张志胜 ;
郑建勇 ;
史金飞 ;
陈芳 ;
柳俊 .
中国专利 :CN101556933A ,2009-10-14
[8]
一种垂向运动的短行程超精密定位平台 [P]. 
王常虹 ;
孟祥瑞 ;
马广程 ;
夏红伟 ;
钟佳朋 ;
李方武 ;
雷晓飞 ;
庞羽 .
中国专利 :CN119658401A ,2025-03-21
[9]
一种垂向运动的短行程超精密定位平台 [P]. 
王常虹 ;
孟祥瑞 ;
马广程 ;
夏红伟 ;
钟佳朋 ;
李方武 ;
雷晓飞 ;
庞羽 .
中国专利 :CN119658401B ,2025-10-28
[10]
显微成像用精密运动定位平台 [P]. 
刘新英 ;
孙磊 .
中国专利 :CN216052412U ,2022-03-15