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夹持机构、晶圆传送盒的抓取平台及其抓取方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410520252.0
申请日：
2024-04-28
公开(公告)号：
CN118116863B
公开(公告)日：
2024-08-02
发明(设计)人：
张健强
蒲宗杰
陆超峰
柳宇涛
彭粤敏
张楷亮
赵萌
申请人：
尊芯智能科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215200 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路168号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/67
代理机构：
上海熠涧知识产权代理有限公司 31442
代理人：
张玮佳;林高锋
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-31 | 公开 | 公开 |
| 2024-06-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20240428 |
| 2024-08-02 | 授权 | 授权 |