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定位机构、抓取系统及晶圆传送盒
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422229439.3
申请日：
2024-09-11
公开(公告)号：
CN223038927U
公开(公告)日：
2025-06-27
发明(设计)人：
张健强
蒲宗杰
赵萌
申请人：
尊芯智能科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215024 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G4-301-076单元
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/687
H01L21/677
代理机构：
上海熠涧知识产权代理有限公司 31442
代理人：
张玮佳;林高锋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-27 | 授权 | 授权 |