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一种快速加热碳化硅管式退火炉
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323610480.7
申请日：
2023-12-28
公开(公告)号：
CN221440796U
公开(公告)日：
2024-07-30
发明(设计)人：
李同权
李成明
唐光武
申请人：
聚勒微电子科技（太仓）有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市太仓市北京路189号工业园厂房2号厂房
IPC主分类号：
C21D1/26
IPC分类号：
代理机构：
苏州尚汇专利代理事务所(普通合伙) 32809
代理人：
桑耀
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
唐山市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-30 | 授权 | 授权 |