一种碳化硅晶体退火炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323352206.4

申请日：

2023-12-11

公开(公告)号：

CN221681263U

公开(公告)日：

2024-09-10

发明(设计)人：

李成明李同权唐光武

申请人：

聚勒微电子科技（太仓）有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市太仓市北京路189号工业园厂房2号厂房

IPC主分类号：

C30B33/02

IPC分类号：

C30B29/36

代理机构：

苏州尚汇专利代理事务所(普通合伙) 32809

代理人：

桑耀

法律状态：

授权

国省代码：

河北省唐山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-10	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅退火炉 [P].

李同权 .

中国专利 :CN308485861S ,2024-02-23

[2]

碳化硅退火炉的冷却装置 [P].

王子贤 .

中国专利 :CN215113979U ,2021-12-10

[3]

一种新型碳化硅退火炉高温腔体 [P].

王志盾 .

中国专利 :CN214950660U ,2021-11-30

[4]

一种快速加热碳化硅管式退火炉 [P].

李同权 ;

李成明 ;

唐光武 .

中国专利 :CN221440796U ,2024-07-30

[5]

一种新型碳化硅退火炉的恒温加热装置 [P].

王志盾 .

中国专利 :CN223064366U ,2025-07-04

[6]

碳化硅晶体退火坩埚及退火装置 [P].

李坚 ;

潘尧波 ;

马远 ;

关承浩 ;

周玉洁 .

中国专利 :CN212925229U ,2021-04-09

[7]

碳化硅晶体退火坩埚及退火装置 [P].

肖体康 ;

周玉洁 ;

潘尧波 ;

马远 ;

方秀亮 .

中国专利 :CN213172687U ,2021-05-11

[8]

一种碳化硅晶体退火工艺 [P].

王波 ;

陈小龙 ;

李龙远 ;

刘春俊 ;

彭同华 ;

王刚 .

中国专利 :CN102534805A ,2012-07-04

[9]

一种批量高温退火碳化硅晶体装置 [P].

朱如忠 ;

皮孝东 ;

王蓉 ;

张玺 ;

张序清 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN217997414U ,2022-12-09

[10]

一种碳化硅晶片批量退火用上料架及退火炉管 [P].

殷雪苑 ;

陈辉 .

中国专利 :CN118600561B ,2025-11-25

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