碳化硅晶体退火坩埚及退火装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021832997.4

申请日：

2020-08-27

公开(公告)号：

CN213172687U

公开(公告)日：

2021-05-11

发明(设计)人：

肖体康周玉洁潘尧波马远方秀亮

申请人：

申请人地址：

315336 浙江省宁波市杭州湾新区兴慈一路290号3号楼105-1室

IPC主分类号：

C30B3302

IPC分类号：

C30B2936

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

林凡燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-11	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅晶体退火坩埚及退火装置 [P].

李坚 ;

潘尧波 ;

马远 ;

关承浩 ;

周玉洁 .

中国专利 :CN212925229U ,2021-04-09

[2]

碳化硅晶片退火装置 [P].

夏海洋 ;

刘少晗 ;

张旭 .

中国专利 :CN222251130U ,2024-12-27

[3]

一种降低碳化硅晶体应力的退火装置 [P].

李天运 ;

邱艳丽 .

中国专利 :CN221721005U ,2024-09-17

[4]

一种批量高温退火碳化硅晶体装置 [P].

朱如忠 ;

皮孝东 ;

王蓉 ;

张玺 ;

张序清 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN217997414U ,2022-12-09

[5]

一种碳化硅晶体退火炉 [P].

李成明 ;

李同权 ;

唐光武 .

中国专利 :CN221681263U ,2024-09-10

[6]

碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

李京波 ;

夏建白 ;

陈素春 .

中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04

[7]

用于碳化硅衬底片退火的承载工装及退火装置 [P].

朱耿直 ;

蒋玉娇 .

中国专利 :CN221760038U ,2024-09-24

[8]

一种碳化硅晶体退火工艺 [P].

王波 ;

陈小龙 ;

李龙远 ;

刘春俊 ;

彭同华 ;

王刚 .

中国专利 :CN102534805A ,2012-07-04

[9]

碳化硅高温退火设备 [P].

鲁永 ;

郑建生 ;

吴明森 .

中国专利 :CN217922437U ,2022-11-29

[10]

一种碳化硅离子激活退火装置及碳化硅离子激活退火方法 [P].

李宇柱 ;

倪炜江 .

中国专利 :CN101651101A ,2010-02-17

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