用于碳化硅衬底片退火的承载工装及退火装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420142240.4

申请日：

2024-01-19

公开(公告)号：

CN221760038U

公开(公告)日：

2024-09-24

发明(设计)人：

朱耿直蒋玉娇

申请人：

江苏集芯先进材料有限公司

申请人地址：

221000 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区电子信息产业园二期二号厂房

IPC主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B33/02

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅衬底退火工艺及碳化硅衬底退火设备 [P].

林苡任 ;

史波 ;

陈道坤 ;

曾丹 .

中国专利 :CN113066720A ,2021-07-02

[2]

碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片 [P].

崔思远 ;

赵元亚 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115458403B ,2025-09-05

[3]

碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片 [P].

崔思远 ;

赵元亚 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115458403A ,2022-12-09

[4]

碳化硅晶体退火坩埚及退火装置 [P].

李坚 ;

潘尧波 ;

马远 ;

关承浩 ;

周玉洁 .

中国专利 :CN212925229U ,2021-04-09

[5]

碳化硅晶体退火坩埚及退火装置 [P].

肖体康 ;

周玉洁 ;

潘尧波 ;

马远 ;

方秀亮 .

中国专利 :CN213172687U ,2021-05-11

[6]

碳化硅衬底片吸附台和碳化硅衬底片加工设备 [P].

林义复 ;

林育仪 ;

张炜国 .

中国专利 :CN220543881U ,2024-02-27

[7]

碳化硅晶片退火装置 [P].

夏海洋 ;

刘少晗 ;

张旭 .

中国专利 :CN222251130U ,2024-12-27

[8]

碳化硅晶圆退火工装 [P].

谢桂林 ;

蒋玉娇 ;

黄升元 .

中国专利 :CN223181086U ,2025-08-01

[9]

碳化硅衬底片宏观缺陷检测装置 [P].

陈传卫 ;

胡家乐 ;

徐玉婷 .

中国专利 :CN221303134U ,2024-07-09

[10]

一种用于碳化硅衬底片的清洗剂及碳化硅衬底片的清洗工艺 [P].

张翔宇 ;

张贺 ;

宋林娜 ;

王芃 ;

朱明亮 ;

王波 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN119776084A ,2025-04-08

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