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一种碳化硅衬底退火工艺及碳化硅衬底退火设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110296226.0
申请日：
2021-03-19
公开(公告)号：
CN113066720A
公开(公告)日：
2021-07-02
发明(设计)人：
林苡任
史波
陈道坤
曾丹
申请人：
申请人地址：
519070 广东省珠海市前山金鸡西路789号
IPC主分类号：
H01L21324
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
刘红彬
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20210319 |
| 2021-07-02 | 公开 | 公开 |